CleanStream (薬液温調システム) Wide-Range temperature Control for 5-30 Gallon Semiconductor Chemical Tanks

CleanStream (薬液温調システム)


Wide-Range temperature Control
for 5-30 Gallon Semiconductor Chemical Tanks


半導体製造の洗浄過程で使用される薬液の温度管理は製品の品質や生産性を左右する重要なファクターです。 Cleanstream は、ペルチェモジュールを用いたシステムで洗浄薬液を ±0.05℃ で温度制御をおこないます。 非常に小型のモジュールで、流路チューブをダイレクトに温度制御する方式ですので従来のタンクで薬液を温調するよりも10-30%使用量の削減が見込めます。 さらに動作部分がないシンプル構造のため振動・ノイズもなくメンテナンスがほとんど不要です。

仕様

モデル CleanStream 1100
設定温度範囲 5℃~40℃
冷却能力 1100 W @ 25℃
加熱能力 1100 W @ 25℃
冷却水 フィルトレーション工業用水
プロセス流体 濃度50%未満のHF溶液、有機溶媒、
その他PFAチュービング対応溶液
流量 プロセス流体:2~8 L/min or 15~38 L/min
冷却水:15~30 L/min
最大圧力 プロセス流体:温度に依存 (MAX 0.67 MPa)
冷却水:0.68 MPa
接続 3/4” or 1” Flaretek コネクター
外寸法(WxDxH) 250 x 410 x 80 mm
質量 17 kg
電源 200-240 VAC 3P 12 A max
Switchback power supply : 0-144 VDC 0-24 A 
材質 プロセス流体流路:HD PFA Teflonチュービング
冷却水流路:アルミニウム

商品ラインナップ
モデル800C1100
(上記モデル)
550/H1500H3000
設定温度範囲 (℃)10-355-455-9040-90
冷却能力 (W)8001100550-
加熱能力 (W)1200110015003000
冷却・加熱能力は、バス温度が 25℃ の時の能力です。

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