M-75 HFE

M-75 HFE


M-75 HFE は、フッ素系溶媒に対応したチラーです。 最大 1600 W の冷却能力で ±0.15℃ の温度安定性を提供します。 ステンレス製プレート式ヒートエクスチェンジャーとホットガスバイパス方式を採用することにより高い温度安定性と優れた温度レスポンスを実現しています。 液漏れのない配管及び継ぎ手を採用しており、さらにコンパクトなタンク容量を採用することにより高価なフッ素系不活性液体の使用量を抑えた設計になっています。

アプリケーション

■ エッチング装置 / テスター装置

仕様
M-75 HFE
設定温度範囲-15 ~ 30 ℃
冷却能力1600 W (60Hz)
温度安定性±0.15 ℃
ポンプ能力11LPM@0.42MPa (60Hz)
タンク容量1.9 L
接続口Inlet/Outlet 1/2インチ female NPT, Drain 1/2インチ female NPT
電源200 V / 1phase 11amps (50Hz/60Hz)
外寸法413 mm (W) x 610 mm (D) x 664 mm (H)
質量91 kg
通信インターフェイスAnalog, Digital
規格CE, UL, KC Mark

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