SYSTEM Ⅲ

SYSTEM Ⅲ


SYSTEM Ⅲ は、冷凍機冷却システムを使用せず、循環水で吸収した熱を水道水や工場水で冷却する、水と水による熱交換方式の循環冷却装置です。 最大 50 kW の冷却能力で ±1.0℃ の温度安定性を提供します。

アプリケーション

■ PVD 装置 / Metal CVD 装置

仕様
System Ⅲ
設定温度範囲15 ~ 30 ℃
冷却能力50 kW (50Hz/60Hz)
温度安定性±1.0 ℃
ポンプ能力49LPM@0.24MPa (60Hz)
タンク容量82.1 L
接続口Process Water Inlet/Outlet 1½インチ female NPT
Facility Water Inlet/Outlet 1インチ female NPT
Drain 3/4インチ female NPT
電源208 V / 1phase 10amps (50Hz/60Hz)
外寸法635 mm (W) x 660 mm (D) x 902 mm (H)
質量141 kg
通信インターフェイスAnalog, Digital
規格CE, UL

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