SWX-100

SWX-100


SWX-100 は、冷凍機冷却システムを使用せず、循環水で吸収した熱を水道水や工場水で冷却する、水と水による熱交換方式の循環冷却装置です。 最大 100 kW の冷却能力で ±1.0℃ の温度安定性を提供します。

アプリケーション

■ PVD 装置

仕様
SWX-100
設定温度範囲15 ~ 30 ℃
冷却能力100 kW (50Hz/60Hz)
温度安定性±1.0 ℃
ポンプ能力95LPM@0.62MPa (60Hz)
タンク容量90 L
接続口Process Water Inlet/Outlet 1インチ female NPT
Facility Water Inlet/Outlet 1インチ female NPT
Drain 1/2インチ female NPT
電源380-460 V / 3 phase 9.6amps (50Hz/60Hz)
外寸法914 mm (W) x 952 mm (D) x 1156 mm (H)
質量636 kg
通信インターフェイスAnalog
規格CE, UL, SEM 52-0703

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